AOR

Automated Optical Repair

자동광학수리기

Automated Optical Repair

자동광학수리기

기가비스의 AOR(자동광학수리기)는
반도체 기판의 불량을 정밀하게 수리하여 폐기되는 고부가가치 기판을
양품화하는 독보적인 수율 개선 기술력을 제공합니다

정밀 수리

기판 불량에 대한
고정밀 수리 기술 구현

수율 향상

공정 불량 최소화 및
양품화율 극대화

수익 제고

고부가가치 기판 제조 공정의
필수 공정

SSR - Ⅴ

제품소개

SSR - Ⅴ

SSR - Ⅳ

SSR-IV — 외관, 무게, 수리 가능 결함, 라인/스페이스 사양
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,680(W) * 1,740(L) * 1,879(H) mm
Weight	1,900 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 5 / 5㎛

SSR - Ⅲ

SSR-III — 외관, 무게, 수리 가능 결함, 라인/스페이스 사양
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,580(W) * 1,730(L) * 1,420(H) mm
Weight	1,500 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 10 / 10㎛

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