InSmart Extreme

  • Min. Line/Space : 5/5 ㎛
  • High End IC Substrate, PLP, WLP, ETS

InSmart Extreme은 세계최초로 5/5 ㎛  미세패턴 검사설비로 개발하였으며 당사 고유의 Metrology기반 알고리즘을 기판 전역에 걸쳐 광범위하게 적용하여 PCB 고객사로부터 평가 및 인정을 받은 High End Level AOI 솔루션 입니다.

특장점
  • • L/S = 5/5 ㎛ 미세회로 안정적 검사 가능
  • • TDI Line Scan Camera 적용으로 제품대응력 향상
  • • 초정밀 정반/2D Linear Motor 적용으로 검출 반복도 확보
  • • 고정밀 실시간 선폭측정 기능 탑재
  • • 극한의 렌즈 성능
  • • 최강의 Auto Focus 기능 탑재
  • • 고품질의 리뷰 광학계
  • • Best User Interface 제공으로 간편한 운용
  • • 고객 맞춤형 설비
스펙
설비크기(㎜) 설비중량(㎏) 공압(㎏/㎠)
1,200(W) * 2,300(L) * 1,800(H) 2,400 5 ~ 6
최대검사크기(㎜) 제품두께(㎜) 전원
650 * 610 0.05 ~ 3.0 220V,단상, 50/60Hz ,3.5KVA
검사가능 min.line(㎛) 지원CAM유형
>5.0 ODB++, RS274X

* 상기 세부 사양은 실제 제품과 다를 수 있으니, 사전에 문의 바랍니다.
* 설비사이즈는 키모드, 모니터, 삼색등 반영 시 커질 수 있습니다.