GM4000

  • 1㎛ 결함 검출
  • Max. 850 mm * 1,200 mm
  • L/S = 1.5㎛ / 1.5㎛

최적화된 Real Time Auto Focus 및 H/W를 통해 Glass 휨을 실시간 추적 반영하여 최대 850 mm * 1,200 mm Glass Mask를 수평검사 방식으로 검사합니다. 혁신적인 불량 확인시스템를 통하여 불량의 효과적인 분석으로 제품의 품질관리에 만족을 드립니다.

특장점

– 수평 검사 방식의 최대 850 mm * 1,200 mm Glass Mask 제품 대응
– 고해상도 구현을 통한 Min. 1.5㎛ 선폭 검사
– Glass 휨 대응을 위한 실시간 Auto focus
– 전용 Defect Viewer를 활용한 편리한 불량 확인
– 빠른 검사속도로 전문 Mask shop에서 다양한 제품을 신속하게 검사
– 투과계/ 반사계 조명 장착

스펙
설비크기(㎜) 설비중량(㎏) 공압( ㎏/㎠ )
1,800(W) * 3,500(L) * 1,850(H) 5,500 0.4 ~ 0.7
검사최대크기(㎜) 검사최소크기(㎜) 전원
850 * 1,200 100 * 100 220V,단상,50/60Hz, 20A
기판두께(㎜) 지원CAM유형 검사능력(㎛)
2~13 ODB++, RS274X,GDSⅡ >1.5

* 상기 세부 사양은 실제 제품과 다를 수 있으니, 사전에 문의 바랍니다.
* 설비사이즈는 키모드, 모니터, 삼색등 반영 시 커질 수 있습니다.