InSmart GM

  • 2㎛ 결함 검출
  • 700 * 800 mm
  • L/S : 3/3㎛ 검사가능

PCB용 Glass Mask 검사를 위해 최적화 되어 있으며, 특화된 기가비스 Metrology기반의 검사로직을 적용 하여 Mask상의 불량 검출력을 극대화 하였습니다.

특장점

– Color 확인용 광학계를 통한 불량 이미지 확인
– Glass 휨 대응을 위한 실시간 Auto focus
– 전용 Defect Viewer를 활용한 편리한 불량 확인
– 투과계/반사계 조명 장착

스펙
설비크기(㎜) 설비중량(㎏) 공압(㎏/㎠)
1,350(W) * 2,350(L) * 1,850(H) 3,500 5 ~ 6
검사최대크기(㎜) 검사최소크기(㎜) 전원
700 * 800 100 * 100 220V,단상,50/60Hz,3.5KVA
제품두께(㎜) 지원CAM유형 검사능력(㎛)
2 ~ 13 ODB++, RS274X,GDSⅡ >3.0

* 상기 세부 사양은 실제 제품과 다를 수 있으니, 사전에 문의 바랍니다.
* 설비사이즈는 키모드, 모니터, 삼색등 반영 시 커질 수 있습니다.