DV-F/HR

  • Min. Line/Space : 5/5um
  • High End IC Substrate, PLP, WLP, ETS

고사양 미세패턴 기판 검사/확인 용도로 개발 된 결함확인 시스템인 DV-F 시리즈의 초고사양 설비입니다.
GigaVis의 최고의 기술을 채용한 초고사양 결함 확인 설비인 DV-F/HR은 사용자의 실수를 최소화하기 위한 진동 대책, 고분해능/고품질 영상을 제공하여 고객사 수율을 향상시킵니다.

특장점

– L/S 5 ㎛ 미세패턴 확인 가능
– 고해상도 3CCD 적용으로 선명한 이미지 출력
– Isolator 장착을 통한 외부 진동에 영향을 받지 않고 선명한 영상 품질 구조 설계 (※ Option)
– 초고속 Focus 조정 (※ Option)

스펙
설비크기(㎜) 설비무게(㎏) 공압사양(㎏/㎠ ) 전원사양
1,350(W) * 2,110(L) * 1,405(H) 1,500 5±10% 220V,단상,50/60Hz, 1.5KVA
최대 대응제품(㎜)
520 * 620
* 상기 세부 사양은 실제 제품과 다를 수 있으니, 사전에 문의 바랍니다.
* 설비사이즈는 키모드, 모니터, 삼색등 반영 시 커질 수 있습니다.