GM4000
最適化されたリアルタイムのオートフォカスとハードウェアーでGlass反りをリアルタイムで追跡反映し、最大850㎜*1200㎜ Glass Maskを水平検査方法で検査します。革新的な欠陥確認のシステムを通じて欠陥の効果的な分析と品質管理に満足させます。
長所
– 水平の検査方式で最大850×1200(㎜)グラスマスクに対応
– 高解像度を具現を通じてMin. 1.5㎛の線幅を検査
– グラスの反りに対応、リアルタイム オートフォーカス適用
– 専用のDefect Viewerを活用て便利に欠陥を確認するころができる。
– 素早い検査速度→専門のマスクショップから色んな製品を素早く検査
– 通過系/覇者系の照明を装着
スペック
| 設備規格(㎜) | 重量(㎏) | 空気圧仕様(㎏/㎠) |
|---|---|---|
| 1,800(W)*3,500(L)*1850(H) | 5,500 | 0.4 ~0.7 |
| 検査可能基板サイズ(㎜) | 最小対応基板サイズ(㎜) | 電源 |
| 850*1,200 | 100*100 | 220V,单相,50/60Hz, 20A |
| 板厚(㎜) | CAMデータのフォマード | 検査可能(㎛) |
| 2~13 | ODB++， RS274X，GDSⅡ | >1.5 |
上記の仕様は実製品と異なる恐れがありますので、事前にお問い合わせください。
設備サイジュは、キーボード、モニター、パットライトなどを除いた規格になります。
