DV-F/HR
微細パターン検査の後、ベリファイシステムであるDV-Fシリーズの中で超高仕様の設備です。
DV-F/ HRは、ユーザーのミスを最小限するための振動対策、高分解能/高品質の映像を提供して、御客様の歩留まりを向上させます。
長所
– L/S=5/5㎛ パターン確認可能
– 高解像度3CCDカメラ搭載で微細なパターンを鮮明なイメージで出力
– Isolator搭載で外部振動からも影響が少ない
スペック
設備規格(㎜) | 重量(㎏) | 空気圧仕様(㎏/㎠) |
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1,350(W)*2,110(L)*1405(H) | 1,500 | 4~6 |
検査可能基板サイズ(㎜) | 板厚(㎜) | 電源仕様 |
510*415 | 0.05~3.0 | 220V, 50/60Hz ,3.5KVA |
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上記の仕様は実製品と異なる恐れがありますので、事前にお問い合わせください。
設備サイジュは、キーボード、モニター、パットライトなどを除いた規格になります。