DV-F/HR

  • 微細なパターン向けのベリファイ機。
  • 高解像度の3CCD搭載

微細パターン検査の後、ベリファイシステムであるDV-Fシリーズの中で超高仕様の設備です。
DV-F/ HRは、ユーザーのミスを最小限するための振動対策、
高分解能/高品質の映像を提供して、御客様の歩留まりを向上させます。

長所

– L/S=5/5㎛ パターン確認可能
– 高解像度3CCDカメラ搭載で微細なパターンを鮮明なイメージで出力
– Isolator搭載で外部振動からも影響が少ない

スペック
設備規格(㎜) 重量(㎏) 空気圧仕様(㎏/㎠)
1,350(W)*2,110(L)*1405(H) 1,500 4~6
検査可能基板サイズ(㎜) 板厚(㎜) 電源仕様
510*415 0.05~3.0 220V, 50/60Hz ,3.5KVA

上記の仕様は実製品と異なる恐れがありますので、事前にお問い合わせください。

設備サイジュは、キーボード、モニター、パットライトなどを除いた規格になります。