GM 4000

  • 能检出1 ㎛瑕疵的Glass Mask AOI.
  • 能对应最大850*1,200 ㎜ 产品.
  • 能检测最小1.5 ㎛ 线路.

通过最优化的实时自动对焦以及硬件, 实时追踪反映Glass翘度, 利用水平检测方式能检测到最大850㎜ * 1,200㎜ Glass Mask. 以创新的不良确认系统为有效分析不良, 给客户带来产品品质管理上的满足.

Features

– 水平测试方法,对应最大850*1,200的GlassMask.
– 高分辨率,最小线宽1.5㎛检查.
– 实时自动对焦为对应玻璃弯曲.
– 使用Defect Viewer容易确认.
– 通过快速的扫描速度,快速扫描多种面膜.
– 安装透射/反射照明.

Spec
设备尺寸(㎜) 设备重量(㎏) 气源(㎏/㎠ )
1,800(W)*3,500(L)*1850(H) 5,500 0.4 ~0.7
检查最大尺寸(㎜) 检查最小尺寸(㎜) 电源
850*1,200 100*100 220V,单相,50/60Hz, 20A
检查板厚(㎜) 支持CAM类型 测试能力(㎛)
2~13 ODB++, RS274X,GDSⅡ >1.5

-实际设备详细规格可能差异, 请事前洽询。

-设备尺寸键盘,荧幕,三色灯有可能变大。